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Apollo シリーズ
シリコンドリフト（SDD）検出器
Apollo（アポロ）は、最新技術の粋を集めたシリコンドリフト検出器（SDD）です。
すべてのモデルにスループット、分解能に優れたFETオンチップ型SDDを採用。
真の高速分析を実現します。
FETオンチップ型SDD
液体窒素レス
100万カウント毎秒の高速マッピング（マッピング時間は秒単位）
高感度の超軽元素分析
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FETオンチップ型SDD
SDD検出器は、ドリフト電極により、電荷を微小なコンタクトに集中して出力できます。
これによりキャパシンタンスが下がり、高入射X線レートにおいても、高分解能を実現できます。
この微小なコンタクトに、FETを作りこんだオンチップ型は、後からボンディングする
オフチップ型と比較して、飛躍的にスループット特性が向上します。
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応用例
SK-PbMオーバーラップの分析例。
オンチップ型では、100,000cpsにおいても
高エネルギー分解能で、SK-PbMオーバーラップが
容易に判断できます。
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応用例
オフチップ型では、エネルギー分解能が低下し、
オーバーラップの判断に困ります。
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応用例
Be、B 超軽元素の分析例。
オンチップ型では、50,000cpsにおいても
高エネルギー分解能で、Be、Bのピークが分離でき、
正確なマッピングが行えます。
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応用例
Be、B 超軽元素の分析例。
オフチップ型では、エネルギー分解能が低下し、
Be、Bが正確にマッピングできません。
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すべてのEDAXマイクロアナリシスシステムに対応
すべてのEDAXマイクロアナリシスシステムのEDS検出器は、Apolloシリーズ シリコンドリフト検出器にアップグレード可能です。
Trident EDS/WDS/EBSPインテグレーションシステム
- EDS Apolloシリコンドリフト検出器
- WDS LambdaSpec 平行ビーム波長分散型X線検出器
- EBSP HIKARI 超高速型EBSP検出器
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Apollo X
液体窒素レスで、高分解能・高スループットを実現した
SDD検出器
| 型式 | Apollo X |
| 検出範囲 | Be(4)～Am(95) |
| 冷却方式 | ペルチェ冷却 |
| 検出素子面積 | 10mm² |
| エネルギー分解能 | 129eV |
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Apollo XP
更なる高エネルギー分解能を実現した
プレミアムなSDD検出器
| 型式 | Apollo XP |
| 検出範囲 | Be(4)～Am(95) |
| 冷却方式 | ペルチェ冷却 |
| 検出素子面積 | 10mm² |
| エネルギー分解能 | 125eV |
| オプション分解能 | 123eV |
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Apollo XL
高感度・高スループットを実現した、プレミアムな
SDD検出器
| 型式 | Apollo XL |
| 検出範囲 | B(5)～Am(95) |
| 冷却方式 | ペルチェ冷却 |
| 検出素子面積 | 30mm² |
| エネルギー分解能 | 133eV |
| オプション分解能 | 129eV |
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Apollo XLT
高立体角・高エネルギー分解能を実現した、
TEM/STEM用SDD検出器
| 型式 | Apollo XLT |
| 検出範囲 | Be(4)～Am(95) |
| 冷却方式 | ペルチェ冷却 |
| 検出素子面積 | 30mm² |
| エネルギー分解能 | 129eV |
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