| |
|
|
|
 |
Neptune
EDS/WDSインテグレーションシステム
Neptuneは、Genesis（EDS）とLambdaSpec（WDS）の
インテグレートにより、高精度・高感度の組成分析を実現します。
- Genesis XM4の機能に、異なる分析技術の組み合わせで応用分析に対応します。
- 新方式 平行ビーム法による高感度WDS分析。
- EDSの操作性でWDS分析が行えます。
|
|
|
| |
|
 |
従来型の光学系
- ジオメトリはローランド円と呼ばれる円周上に配置されるため大型化。
- サンプル－分光結晶間の距離が長く、高いビーム電流が必用。試料ダメージも大きい。
|
| |
| |
|
 |
新方式 平行ビーム光学系
- ジオメトリはシンプルなブラッグ反射。コンパクトなためさまざまなSEMに対応。
- サンプルで発生した直後のX線を平行ビーム光学系で捕集するので高感度。
|
| |
| |
|
 |
EDSとWDSをシームレスにインテグレート
EDSの操作性で、WDSの高精度分析が行えます。
分析位置は、X線レートをモニタリングしながら、
SEMステージをコントロールし、最適ポジションへ
自動調整されます。
EDSで困ったら、EDSのスペクトル上からWDSのスキャン範囲を指定できます。
|
| |
| |
|
 |
低エネルギーに特化した平行ビームWDS検出器
| 型式 | LEXS |
| 検出方式 | 平行ビーム法 |
平行ビーム
光学系 | HCO |
| 検出範囲 | 100eV～2.4keV |
| 分光結晶 | フラット型結晶 |
|
| |
| |
|
 |
全元素範囲をカバーする平行ビームWDS検出器
| 型式 | TEXS |
| 検出方式 | 平行ビーム法 |
平行ビーム
XPL | HCO |
| 検出範囲 | 150eV～10keV |
| 分光結晶 | フラット型5結晶 |
|
| |
| |
|
 |
応用例
EDSで分離できない元素の組み合わせも、
Neptuneなら容易に分析できます。
サンプル：TiN
赤：LEXS
青：EDS
|
| |
| |
|
 |
応用例
EDSで分離できない元素の組み合わせも、
Neptuneなら容易に分析できます。
サンプル：PbS
赤：TEXS
青：EDS
|
| |
| |
|
