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OIM 結晶方位解析装置
SEMで発生した菊池パターンは蛍光スクリーンに投影され、カメラで取り込まれます。
取り込まれたパターンは直接IEEE1394を通してコンピュータに送られます。
送られたイメージは画像処理、指数付けされた後、オイラー角の
データ等数値に変換、ハードディスクに保存され、後に解析ソフトで解析に使用します。
また、OIMでは定点の測定のみではなく、指定した測定範囲内で
連続測定を行い、マッピングが可能です。
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OIM Data Collection EBSDデータ収集ソフトウェア
OIM Data Collectionは、SEMで発生した菊池パターンを収集、分析するソフトウェアです。
- 精度を犠牲にすることなく、高速のデータ収集を可能にしました。
- 7晶系すべての指数付けを高精度に行なえます。
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OIM Analysis EBSDデータ解析ソフトウェア
OIM Data Collectionで収集したデータは、OIM Analysisによって、さまざまなデータ表記が可能です。
- さまざまなマップ、チャート、プロットが可能です。
- HighLight機能によるインタラクティブなデータ解析が行えます。
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OIM検出器
EBSDパターンを用いた歪み測定を含めすべてのアプリケーションに対応する万能型検出器
| 型式 | DigiViewⅢ |
| インデックスレート | 70点インデックス/秒 |
| スライド部真空シール | メタルベローズ |
| 検出器動作 | モータードライブ |
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高速動作型OIM検出器
最大200点インデックス毎秒の高速測定を可能としたOIM検出器です。
通常の測定を効率よく行なったり、In-Situ観察に最適です。
| 型式 | HIKARI |
| インデックスレート | 200点インデックス/秒 |
| スライド部真空シール | メタルベローズ |
| 検出器動作 | PC制御モータードライブ |
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Before
Durling
After |
応用例
加熱ステージを用いた、In-Situ観察の事例。
サンプル：
Equal Channel Angular Processed (ECAP) Copper
SEMチャンバー内で、サンプルを150℃に加熱して保持。
相転移が終るまでの間、2分毎に65回の測定を実施しました。
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3D Wizardにより簡単にセットアップ
3D IPFマップ
選択したクラスターのズームアップ |
応用例
イオンビームSEMを用いた3D観察の事例。
サンプル：Ni
3D Wizard機能により、イオンビームSEMの設定から、
OIMの設定まで、簡単に3D観察が行えます。
従来の2Dに加えて、新たに追加される3D情報により、
これまでにない、新たな材料分析、組織解析を実現します。
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