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Pegasus
EDS/EBSDインテグレーションシステム
Pegasusは、Genesis（EDS）とOIM（EBSD）の
インテグレートにより、元素情報と結晶系情報を
融合した確かな相解析を実現し、新たな材料解析、
組織解析を可能にしました。
- コンパクト
- Genesis XM4の機能に、異なる分析技術の
組み合わせで応用分析に対応します。
- EDS/EBSD同時分析が行えます。
- EDSデータをEBSD解析に応用できます。
- 自動相判定技術で更に高精度の解析が行えます。
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FSD 12mm Out 方位コントラスト
FSD Full Insert 凹凸コントラスト
BSE 組成コントラスト |
HIKARI高速動作型OIM検出器
HIKAR（ヒカリ）は、最新技術の粋を集めたハイスピードOIM検出器です。
- 最速200点インデックス毎秒
- インテグレーションFSD
- PCコントロールスライド
- タッチセンサーによる衝突防止回路
FSDでは、スライドに位置により、異なった種類の反射電子像を得ることができます。
サンプル：鉱物
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OIM検出器
EBSDパターンを用いた歪み測定を含め
すべてのアプリケーションに対応する万能型検出器
| 型式 | DigiViewⅢ |
| インデックスレート | 70点インデックス/秒 |
| スライド部真空シール | メタルベローズ |
| 検出器動作 | モータードライブ |
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高速動作型OIM検出器
最大200点インデックス毎秒の高速測定を可能としたOIM検出器です。
通常の測定を効率よく行なったり、In-Situ観察に最適です。
| 型式 | HIKARI |
| インデックスレート | 200点インデックス/秒 |
| スライド部真空シール | メタルベローズ |
| 検出器動作 | PC制御モータードライブ |
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| EBSDのみによる測定
方位マップ
相マップ |
応用例
EBSDだけでは解析が困難なサンプルも、Pegasusなら容易に解析できます。
サンプル：
CuO（立方晶）／CuAl2O4（立方晶）
CuAlO2（三方晶）／Al2O3（三方晶）
同じ結晶系の相は、EBSDのみでは判定が難しく、また、EDSでは結晶粒や配向性は観察できません。
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Pegasusによる測定
方位マップ
方位マップ |
EDSで基本的な相分離を行ない、EBSDで詳細なミクロ組織を
解析するChiScan法は、EDS/EBSDインテグレーションによる
同時測定を可能にした結果、はじめて実現した画期的な多相材料の解析方法です。
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