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Trident
EDS/WDS/EBSDインテグレーションシステム
Tridentは、Genesis(EDS)とLambdaSpec(WDS)、
OIM(EBSD)のインテグレートにより、
高感度の化学組成分析と結晶方位解析を
1システムで実現できる、理想的なシステムです。
- Neptune、Pegasusのメリットを1台のPCで実現します。
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応用例
EDSで分離できない元素の組み合わせも、
Neptuneなら容易に分析できます。
サンプル:TiN
赤:LEXS
青:EDS
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応用例
EDSで分離できない元素の組み合わせも、
Neptuneなら容易に分析できます。
サンプル:PbS
赤:TEXS
青:EDS
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| EBSDのみによる測定
 方位マップ
 相マップ |
応用例
EBSDだけでは解析が困難なサンプルも、
Tridentなら容易に解析できます。
サンプル:
CuO(立方晶)/CuAl2O4(立方晶)
CuAlO2(三方晶)/Al2O3(三方晶)
同じ結晶系の相は、EBSDのみでは判定が難しく、
また、EDSでは結晶粒や配向性は観察できません。
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Pegasusによる測定
 方位マップ
 方位マップ |
EDSで基本的な相分離を行ない、EBSDで詳細なミクロ組織を
解析するChiScan法は、EDS/EBSDインテグレーションによる
同時測定を可能にした結果、はじめて実現した画期的な
多相材料の解析方法です。
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