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EAGLE III XXL
エネルギー分散型微小部蛍光X線分析装置
EAGLEⅢ XXLは、大きなサンプルの微小部を非破壊で
測定するために開発しました。その特徴は
蛍光X線による非破壊分析
最大試料サイズ650x650x400mmの超大型試料室
WD最大10mmで凹凸のあるサンプルにも対応
標準100um、最小20um（オプション）の微小部分析
デスクトップ型と同じ操作性で、大型サンプルを迅速に分析
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全方位から手が届く大型ステージ
- 最大650x650x400mmのサンプルが装填できる
- 試料室はフルオープンでき、全方位から手が届く
- X-Y-Z 3軸フルオートのモーターステージ
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WDはゆとりの10mm
- 分析位置は、光学系最下部から最大10mm下(WD=10mm）
- 凹凸のあるサンプルもそのまま分析できる
- Z軸連動のオートフォーカス機能で、常に同じWDで分析できる
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最小20um（オプション）の微小部分析
分析スポットサイズは、全反射光学系の採用により100umを実現。
更に特許技術のX線ポリキャピラリーレンズにより、最小20umの
スポットサイズを実現しています。
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化石のマッピング |
大きさ・導電性に関わらず、元素分布を視覚化
- 大きなサンプルをそのままマッピングできる
- 導電性がないサンプルでもそのままマッピングできる
- 全画素のスペクトルを保存しているので、後からの見直しが自由自在
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