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Clarity EBSD 検出器シリーズ

3 kV分析という圧倒的な性能を備えた、世界初、唯一の商用 電子線回折結晶方位解析装置(EBSD)。この直接検出システムは、従来のEBSDシステムでは分析が困難なビームセンシティブなペロブスカイト、セラミック、半導体材料に最適です。

Clarity™ EBSDシステム

 

この画期的な検出器は、単一電子検出を利用して、研究を前進させると期待される高い忠実度のEBSDパターン品質と圧倒的な感度を提供します。

  • Clarity Plus – 7 kVまでの効率的な収集が可能
  • Clarity Super – 3 kVまでの高性能に最適化

Clarityは、単一電子検出感度を備えた画期的なハイブリッドピクセル直接検出テクノロジーを使用しています。入射電子は、シリコン素子内に複数の電子-正孔対を生成し、バイアス電圧によってその中の電荷をCMOS回路に向かって移動させ、それぞれの電荷をカウントします。この方式は非常に感度が高いため、蛍光スクリーンや光伝達システムを使用する従来のEBSD検出器では検出できない単一電子を検出できます。

ビームセンシティブなMAPIペロブスカイトから10 kV、150pAで収集したEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップ
ビームセンシティブなMAPIペロブスカイトから10 kV、150 pAで収集したEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップ

ゼロ読出しノイズと相まって、Clarityは前例のない感度と画質性能を実現します。10e- /ピクセル未満で構成されるパターンを正常に検出、分析できます。これにより、Clarityは、ビームセンシティブな試料や、有機-無機のハイブリッドペロブスカイト太陽電池、セラミックなどの低ビームドーズアプリケーションに最適です。さらに、Clarity Superは、より低加速電圧でのデータ取得に最適化されており、微細構造を有する材料の空間分解能を向上させることができます。

従来の蛍光スクリーン検出器とClarityの感度比較
従来の蛍光スクリーン検出器とClarityの感度比較

特長と利点

ビームセンシティブな試料の解析
  • 試料損傷を防ぐために低ビーム電流とエネルギーを使用することにより、これまで見ることができなかった構造を明らかにします
  • 通常のビーム電流では帯電するセラミックなどの非導電性材料の測定に、導電性コーティングや低真空SEMは必要ありません
  • 粒界、粒径、結晶方位の測定に影響する高品質なEBSDパターンとマップが低ビーム電流で得られます
空間分解能を向上させるために7kV、200pAで収集された凍結鍛造ナノツインチタンのEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップ
空間分解能を向上させるために7 kV、200 pAで収集された凍結鍛造ナノツインチタンのEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップ
従来の試料の解析
  • 高ダイナミックレンジイメージングにより、優れたEBSDパターン品質が得られます
  • 蛍光スクリーンや光学レンズを使用しないため、非常にシャープなEBSDパターンが得られます
  • 低加速電圧分析により、空間分解能が向上します
まとめ

Clarity EBSD検出器シリーズは、EBSDパターンの収集とマッピングにおいて、圧倒的な感度とパターン品質を提供します。これによりビームセンシティブな材料の分析を可能にし、広範囲のビームエネルギーにわたる定量的な電子強度情報が得られます。

a) シリコン、b) カンラン石、 c) 石英からClarityで収集された高品質なEBSDパターン
a) シリコン、b) カンラン石、 c) 石英からClarityで収集された高品質なEBSDパターン

リソース

製品情報