Hikari 高速動作型EBSD検出器は、

Hikari 高速動作型EBSD検出器は、幅広いEBSDアプリケーションに対して優れた性能を発揮します。 Hikariは、感度とスピードの両方を提供するので、ユーザーは妥協する必要がありません。HikariはHR-EBSDにも対応します。

Hikari EBSD Camera

Hikariは1秒あたり最大1,400点で測定することができ、重要なEBSDアプリケーションの要件を満たすよう設計されています。この検出器にはFSD検出器とEDAXの特許取得済み仮想反射電子像(PRIAS™)が付属しています。

主な用途
  • プロセス開発と品質管理のための高速分析
  • 空間分解能の向上が必要な場合の低ビーム電流および低加速電圧での高感度指数付け

機能と利点

最大1,400点/秒の測定スピード
  • SEMの生産性を高めるために数分で収集できます。
EBSD検出器の感度が最大

以下のSEM分析条件で測定できる高い性能

  • 100 pAの低照射電流
  • 最低5 kVの加速電圧
0.1°以下の高精度方位測定
  • 加工 - 微細構造 - 特性の関係をよりよく理解するために、塑性ひずみ、亜結晶粒の進展、変形メカニズムの詳細な微細構造の特性評価が可能
高い指数付け成功率
  • EDAXの特許取得済みのConfidence Indexは、指数付け率だけではなく、方位データの信頼性を評価する指数付け成功率も決定します。
  • 高い割合で指数付けが行われ、不完全な測定によって引き起こされる仮定を回避でき、すべてのサンプルについて詳細を知ることが可能
EBSDスキャンを実行する前にサンプルを観察するためのFSD検出器
  • EBSD用に調製されたサンプルのプレビュー用に、方位、組成、および凹凸コントラストによるイメージングが可能
仮想反射電子像(PRIAS™)ライブイメージングに対応
  • Hikari高速動作型EBSD検出器は、PRIAS™Liveモードで、イメージング検出器として使用できます。
  • PRIAS™は、あらかじめ定義された関心領域(ROI)から25の画像を収集し、特定の画像コントラストを向上、抑制、または分離するために算術処理を行えます。
  • PRIAS™イメージングは、EBSDサンプルの方位、相、および凹凸コントラストによるイメージングが可能

Hikari検出器は、幅広いEBSDアプリケーション用の検出器です。スピード、感度、精度が高いので、性能を犠牲にすること必要がありません。この検出器は、TEAM™TridentTEAM™Pegasus、およびTEAM™EBSD分析システムに対応しており、ユーザーは材料解析の課題を迅速、簡単、かつ正確に解決できます。