Orion高速動作型EBSD検出器シリーズは2つのモデルがあります:
- Orion Plus - 最大1,500点/秒以上
- Orion Super - 最大3,000点/秒以上
両モデルともに、指数付け成功率は99%以上で、本測定スピードを保証します。この速度では、バンド検出を改善するために120 x 120ピクセルの画像を利用します。この画像解像度とEDAXの実績のある3バンド法を組み合わせることで、変形した微細構造を正確に評価するための特別な処理を必要とせずに、0.1°以下の方位精度が得られます。
Orion Plusにより、1,500点/秒で測定した変形したインコネル600のEBSD方位マップ
Orion Superにより、3,000点/秒で測定した付加製造ニッケル超合金のEBSD方位マップ
Orionの性能は、対称性が低いサンプル、マルチフェーズ、変形構造を含む幅広い範囲の材料にまで及びます。Orion検出器は、材料分析に必要なデータ品質で、実サンプルにおいても高速のデータ収集ができます。
Orion 高速動作型EBSD検出器とEDAX エネルギー分散型X線分析装置(EDS)を一体化することで、最高の収集速度で、効率的なEDS-EBSD同時分析が可能です。ChI-Scan™と組み合わせることで、正確な相分離が行えます。
特徴と利点
最大1,500点/秒、3,000点/秒の測定スピード
- SEM生産性の向上、In-situ実験、3D EBSDのために、EBSDマップをわずか数分で収集できます
高速、低ノイズCMOSセンター
- CMOSセンサーは、高感度、低ノイズで120 x 120ピクセルの画像で最高感度でEBSD指数付けを行えます
0.1°以下の高精度方位測定
- 標準の指数付け方法で、変形した微細構造の明確な特性評価が可能です
最高水準の指数付け精度
- EDAXの実績のある3バンド法と特許取得済みのConfidence Indexは、困難な実サンプルに対して高い指数付け精度を実現します
高速EDS-EBSD同時分析
- Orion EBSD 検出器は、最高速度での効率的なデータ収集を行えるよう、EDAX EDS検出器との組合せに最適化されています
Orion Superにより、3,000点/秒で測定した、異形鋼のEBSD方位マップ
Orion Superにより2,000点/秒で測定した付加製造チタン(HCP相およびBCC相)のEBSD方位マップ
追加資料
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