TEAM™WDS 分析システム

TEAM™ WDS 分析システムは、WDS の分析力に TEAM™ ソフトウェアプラットフォームの使いやすさと直感的なワークフローを付与することで、あらゆるレベルのユーザーに、究極の分解能と微量元素分析を提供します。
TEAM™ WDS

TEAM™分析システムに波長分散型X線分析装置 (WDS) を付け加えることで、エネルギー分散型X線分析装置 (EDS) 、後方散乱電子回折 (EBSD) およびWDSの3つのマイクロアナリシスルーチンを1つのインターフェースにまとめて能率化し、材料に関する優れた洞察を素早く簡単に得られるようにします。

TEAM™ WDS 分析システムは、TEAM™ソフトウェアと平行ビームWDS検出器を組み合わせたものです。軽元素を扱うためにEDS分析を補完したい場合、または元素の重なりが深刻な問題を生じる場合、分析者は、しばしば波長分散型X線分析装置 (WDS) を使用します。WDSの改良された分解能とより高い感度により、ピークの重なりが分離され、微量元素が効果的に検出されることで、ユーザーに試料の化学的性質の明瞭な結果を提供します。定性分析と定量分析の両方を実行できます。

検出器ハードウェア

TEAM™ WDSは、低エネルギー用 (LEXS)と遷移元素用-高精度型 (TEXS High Precision (HP))の、2つの平行ビーム波長分散型X線検出器を利用できます。

  • LEXSには、平行X線ビームを生成する、ハイコレクション光学系が搭載されており、エネルギー範囲100 eV~2400 eV (B Ka~S Ka) の超軽元素のパフォーマンスが優れています。
  • TEXS HPには、平行X線ビームを生成するキャピラリー光学系が搭載されており、エネルギー範囲150 eV~10 eV (B Ka~Cu Ka) の低エネルギーおよび遷移元素エネルギーを扱えるよう最適化されています。
  • LEXSとTEXSのどちらにも、お客様独自のさまざまなアプリケーションニーズを満たすために、5つの分光結晶が標準装備されています。
  • さらに、このシステムは走査電子顕微鏡 (SEM) のほとんどのEDSポートに取り付けられる機械的設計のため、一般的なWDSシステムに比べてより自由度の高いシステム構成が可能です。

TEAM™ WDS 分析ソフトウェア

TEAM™ WDS は、WDS分析のための、顕微鏡を完全に最適化する完全自動フォーカスルーチン、スマートフォーカスを導入します。この主な機能は、各元素に対して最高の強度を保証するために、WDS光学系に対して、ステージ位置を最適化します。スマートフォーカスは、分析のはじめに最も質の高いデータ収集ができるようにすることで、WDS分析に新たなレベルの速度と使いやすさをもたらします。スマートフォーカスにより、ユーザーは光学系に注意を払う必要はなく、元素またはエネルギー範囲を選択するだけで、3クリックでEDSピークの重なりを解消できます。

アプリケーション
TEAM™ WDS は次の用途に最適なソリューションです:
  • 低加速分析 - 5 keV以下のX線データのみが取得可能データとなります。望ましい精度、定性分析または定量分析を実現するには、WDSの分解能が必要です。
  • ピークの重なり - 特に4 keVから10 keVのエネルギーでは、遷移元素のK線と難揮発性元素のL線が著しくオーバーラップします。
  • 微量分析 - 科学者は複雑なマトリクス内の元素の微量成分を決定しなければならない場合があります。