XLNCE SMX-ILH特許のサーマルシールドは、300°Cまでのホット基板のリアルタイムXRFデータを容易にし、パネルの滞留時間を短縮し、プロセススループットを向上させます。 専用のZ軸高さ調整機能は、より大きなパネル、特に高温の場合に共通の平坦性の偏差とともに、弓とワープに対応することによって測定品質をさらに向上させます。
- 組成と厚さの分析
- 材料選択、層配合
- インラインおよびオフラインのプロセス制御
- 歩留まり管理
専門分野：
- CIGSのような金属膜スタック組成物
- 光起電プロセス
- マイクロエレクトロニクス製造
- 耐腐食コーティング
- 遮熱コーティング
- エネルギー（CIGS、CIS、バッテリー）