図1.Velocity Ultra検出器で6,700点/秒、99%以上の指数付け精度で測定した付加製造ステンレス316LのEBSD方位マップ
図2.Velocity Super検出器で4,500点/秒、99%以上の指数付け精度で測定した付加製造インコネル718のEBSD方位マップ
図3.Velocity Plus検出器で3,000点/秒、99%以上の指数付け精度で測定したインコネル600のEBSD方位マップ
図4.Velocity Pro検出器で2,000点/秒、99%以上の指数付け精度で測定した真鍮のEBSD方位マップ
Velocity超高速動作型EBSD検出器シリーズには、4つのモデルがあります:
- Velocity Ultra – 最大 6,700 点/秒
- Velocity Super – 最大 4,500 点/秒
- Velocity Plus – 最大 3,000 点/秒
- Velocity Pro – 最大 2,000 点/秒
全てのモデルで、最大99%以上の指数付け成功率で、このスピードを達成できます。 EDAXの実績のある3バンド法を組み合わせることで、変形した微細構造を正確に評価するための特別な処理を必要とせずに、0.1°以下の方位精度が得られます
Velocityの性能は、対称性が低いサンプル、マルチフェーズ、変形構造を含む幅広い範囲の材料に対応します。Velocityシリーズは、材料分析に必要なデータ品質で、実サンプルにおいても高速のデータ収集ができます。
VelocityをEDAX EDS検出器と一体化することで、最高の収集速度で、効率的なEDS-EBSD同時分析が可能です。ChI-Scan™と組み合わせることで、正確な相分離が行えます。
機能と利点
最大6,700点/秒の測定スピード
- SEM生産性の向上、In-situ実験、3D EBSDのためにEBSDマップをわずか数分で収集できます
高速、低ノイズのCMOSセンサー
- センサーは、最高感度でEBSD指数付けを行うための高感度、低ノイズの画像を提供
0.1°以下の高精度方位測定
- 標準の指数付け方法で、変形した微細構造の明確な特性評価
高精度指数付け
- EDAXで実績のある3バンド法による指数付けとConfidence Indexは、困難な試料において比類のない指数付け性能を発揮
高速EDS-EBSD同時分析
- Velocity EBSD検出器は、最高速度での効率的なデータ収集を行えるよう、EDAX EDS検出器との組合せに最適化されています