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Pegasus (EDS-EBSD) インテグレーションシステム

Pegasusインテグレーションシステムは、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)(化学情報)と結晶方位解析装置(EBSD)(結晶学的情報)のデータを同時に収集できるため、分析対象の元素の含有量と材料の微細構造を直接相関させることができます。
TEAM™ Pegasus

 

EDS – EBSDインテグレーション

  • 完全インテグレーションされたEDS– EBSDシステムを使用することで、構造と結晶情報を同時に得られます
  • ChI-Scan™機能は、EDS組成情報とEBSD結晶情報を使用して、相マッピングやEBSDの指数付けを改善します
  • 高傾斜EBSD条件に対応した高精度EDS定量を実現しています
Al-Cu-Mg合金のEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップを同時に収集、EDS-EBSDデータセットと組み合わせて表示。
図1.Al-Cu-Mg合金のEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップを同時に収集、EDS-EBSDデータセットと組み合わせて表示。

 

特長と利点

高スループット3D EDS – EBSD
  • Octane Elite、Octane Elect EDS検出器とVelocity™ EBSD検出器をインテグレーションしたEDS – EBSDソリューションは最速のデータ収集を実現
  • 全てのEDS検出器に高透過率のSi3N4ウィンドウを採用、低加速電圧、低電子線照射での測定に威力を発揮
  • EBSD Confidence Indexは、結晶の指数付けにおける定量的な品質を提供
直接検出EBSD
  • 究極のEBSD検出器Clarity™シリーズは、直接検出技術を採用し、低電子線照射、低加速電圧条件で圧倒的な性能を実現
鉄鋼試料の窒化表面のEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップ。EDSとEBSDのデータを組み合わせて、類似のフェーズを区別できました。
図2.鉄鋼試料の窒化表面のEBSDイメージクオリティー像とIPF方位マップ。EDSとEBSDのデータを組み合わせて、類似のフェーズを区別できました。

 

まとめn

Pegasusシステムは、日常的な分析と複雑な材料特性評価の問題の両方に応えます。元素分析と結晶構造の解析結果を迅速、簡単に提供できることで、ユーザーはデータ収集より材料の理解に集中できます。