利点
- 他のシステムより3.5倍以上速く、正確な組成および結晶構造データを収集
- 複雑な試料を含む、最も広範な試料に対する分析能力を拡張
- 数時間や数日ではなく数分で結果を出す
- EBSDジオメトリで優れた組成分析を実現
- APEX™ソフトウェアを使用した単一のEDS – EBSDインターフェースによる分析の最適化
EBSD は、独立した技術として、結晶学上の差異に基づいて異なる相を識別するのに非常に優れています。ただし、EDS からの化学組成とEBSD からの結晶データを組み合わせると、非常に強力な分析アプローチが提供され、ユーザーは類似した結晶を持つ相を分離し、多相試料の曖昧さやエラーを排除できます。
図 1. Pegasus は、電子ビーム1 回スキャンで信頼性の高い結果を提供します。グラフは、銅の試料を Velocity EBSD 検出器で高速 EBSD 分析するのに適した条件（加速電圧20 kV ビーム電流20 nA ）におけるEDS検出器エリアサイズごとの EDS 入力カウントを示しています。
この画期的な相乗効果を実現するために、PegasusはEDAX Velocity™およびClarity™ EBSD検出器を使用して、結晶構造情報を収集します。評価要求に応じて、Velocity検出器は幅広い試料で高速収集が可能
で、Clarity直接検出器はビームに敏感な試料に最適で、3kVまで比類の無いパフォーマンスを発揮します。
さらに、Pegasus は EDAX Octane Elect および Octane Elite EDS 検出器の効率を活用して、他のシステムよりも 3.5 倍速く、EBSD のジオメトリで優れた結果を収集します。Octane Elite Ultra を使用すると、最大 30 kV の加速電圧で軽元素と重元素に対する感度を拡張できます。これにより、二次的なEDS 検出器が不要になり、スタンドアロンまたはデュアル EBSD – EDS 技術として厳しいアプリケーションのニーズを満たすことができます。
直感的なAPEXソフトウェアは、強力な分析EDS – EBSDルーチンを接続し、高品質なデータを迅速、簡単、確実に収集、レポートします。このEDAXハードウェアとの組み合わせは、ユーザーの生産性を向上させ、EDS – EBSD同時微小構造解析に最適なソリューションを提供します。/p>
図 2. Pegasus は、EBSDのジオメトリで高品質な組成分析を行い、傾斜による吸収効果を補正します。一般的な EBSD 条件下で傾斜をかけない状態で実施したEDS分析に匹敵する結果が得られます。右のグラフは、EBSD 分析に使用される一般的な 70° の試料傾斜で、At% 精度が 100% またはそれに近いことを示しています。上記のデータは、20 kV の加速電圧、2.5 nA のビーム電流、および 100k cps の EDS カウント レートで収集されました。