EDAX APEX EDSソフトウェア

APEXレイアウトカスタマイズツールバー

使いやすい

• 初心者からエキスパートユーザーまで、直感的な操作性
• わずか1クリックで、データ収集からレポートまで
• ルーチンワークを自動化して簡単且つ迅速に分析
• ユーザープロファイルによるログインにより、管理者からユーザーまでアクセス権を最適化

カスタマイズ

• 走査型電子顕微鏡(SEM)のユーザーインターフェース、もしくは好みに合わせた配色の変更機能
• ユーザープリファレンスに基づく表示データの構成機能
• ユーザーの好みに応じたウィンドウのサイズ変更、調整が可能

特徴

ライブモード・レビューモード

レアルタイム結果表示

• 定性分析は、リアルタイムに定性結果を表示
• 定性結果を直接編集できるので、高精度で効率の良い分析が可能
• リアルタイム定量分析に基づく統計分析とグラフ表示でサンプルの組成をすばやく理解

定量結果の統計分析とグラフ表示

スマート定量

• 定量分析にはZAF補正によるスペクトル解析を実行
• スペクトル収集中に定量分析を実行することで、スペクトル収集に遅滞がなく迅速に実行

マルチポイント分析

• サーベイモードですばやく事前調査を実行
• サンプル上の複数点を登録し分析することでデータ収集効率が向上
• 分析位置のスキャンリストを保存し呼び出すことで、データ収集と解析を自動化可能

データ管理とレポート作成

• Microsoft® Word、Excel、PowerPointやPDFに出力し、編集可能
• データをシームレスに構成するプロジェクトツリー構造
• プロジェクトを*.HDFフォーマットで出力可能
• ワンクリックでウィンドウを*.bmp、*.jpg、*.png、*.tifの各種画像ファイルで保存

レポートツールバー

アドバンスドレポート

• APEXライブモードで直接レポート作成し、結果までの時間を短縮
• レポートデザイナーは画像、スペクトル、定量値、テキスト、ロゴ、サンプル情報についてテンプレートをカスタマイズ可能
• 同じレポート上に複数視野または複数サンプルのデータを統合し簡単に比較
• 複数のテンプレートを組み合わせて結果を簡単に表示
• オートレポートはデータ収集後直後、自動的にレポート作成

CompoMapによるP K線とZr L線の重複分離

EDSマッピング

• X線計数率 (CPS)マップは各ピクセルのX線レートの品質を示し、CPSの分布と表面状態による変化を表示
• CompoMapsは重なるピークを分離してマッピング可能で、EDSマップをより正確に表現
• マッピング収集中のリアルタイムに元素を追加可能。操作と分析をよりシンプルに
• マッピング収集中に40色の中から元素の色を選択可能。簡単に鮮やかなマップを作成
• 複数の線種（K線、L線、M線）を同時にマッピング可能

ダイナミックエレメントマッピング

• マッピング、ラインスキャンではリアルタイムで対話し元素を表示
• マッピング収集中に元素、線種、ユーザー指定のROIの編集が可能

ダイナミックエレメントマッピングウィンドウ

元素表示色の選択ウィンドウ

リアルタイム相分析

モンタージュ広域マップ

• ステージを制御して複数視野を分析することで広域をスキャン
• 包括的に解析するため、自動的にデータを1つのファイルに統合

リアルタイム相分析

• ユーザーによる設定が不要
• 自動的にスペクトル、元素マップ、相分析を取得
• 相の表示色と名前をカスタマイズ可能
• スペクトルに基づく相の事前設定、もしくは再分析が可能

デュアル検出器

• 影や凹凸の影響によるアーティファクトを軽減します。
• 両方の検出器からのX線スペクトル/マッピングをマージするオプションを設定
• 単一の検出器のエネルギー分解能を維持しながら、スループットカウントレートを2倍にすることができます。
• 大型センサーを搭載した1台の検出器を使用したシステムと比較して、エネルギー分解能の安定性が向上しています。
• 2つの検出器からの定量分析結果を平均化し、より正確な結果を得ることができます。

強化されたラインスキャン機能

• 組成分布を効率化するためスペクトルを同時収集
• ラインスキャンのチャートをリアルタイムでオーバーレイ、スケーリングすることで、組成データとSEM画像の特長物を簡単に関連付け
• APEX Advancedソフトウェアパッケージではラインスキャンにドリフト補正を使用でき、ドリフトの問題をを回避可能

アドバンスドラインスキャン機能

ドリフト補正パネル

ドリフト補正

• 操作を簡単にするドリフト補正パラメータの自動設定
• ドリフト量に基づく補正間隔の自動調整で、確実な補正パフォーマンスを実現
• ドリフトイメージの保存や手動の参照エリアの設定等の高度なドリフト補正オプション
• 高品質なデータを取得するためスペクトラム、ライン、マップのすべての分析モードで利用可能

スペクトラムマッチング

• オプション機能で、スペクトルライブラリから似たスペクトルを検索可能
• 未知サンプルとライブラリを比較することで、未知サンプルの判別を簡単にし、スペクトル間の不一致や類似性を見つける複雑さを軽減
• ユーザー独自のライブラリの作成、使用が可能
• オプションの鉱物、材料ライブラリで、収集した未知スペクトルとライブラリを比較可能