平行ビーム光学系に設計されたLambda検出器は下記のモデルがラインナップされています:
- EDAX Lambda Plus – 遷移元素の最大効率を実現ポリキャピラリー光学系を搭載し、分析エネルギー範囲150 eV – 10 keV (B Kα～Ge Kα)
- EDAX Lambda Super – ポリキャピラリーと高集光反射型X線光学系を組み合わせたデュアル設計により、軽元素（特にB、C、N、O）に対して究極の感度を実現
図1．Si K とW MのEDS重複ピークの問題は、WDSで簡単に解決できます。スキャンモード
Lambda検出器はエネルギー範囲全体をスキャンして、周期表の各元素の少なくとも1本のX線ラインを測定可能です。スキャンモードのオプションには次のものがあります:
- 1元素または複数の元素を自動収集
- アプリケーションに合わせてスキャン範囲をカスタマイズ
- ユーザーが選択可能なステップ サイズと速度
- 選択した元素のピークモードとバックグラウンドモード
- 直観的な周期表インターフェースを通じて元素を選択
- ソフトウェアが使用する分光結晶や測定するピーク・バックグラウンド位置を提案
定性・定量分析
Smart Quantを備えたEDAX APEX™ ソフトウェアによって定性・定量分析が可能です。EDSとWDSのデータを同時収集し、重ね合わせ表示することで簡単に同定ピークの確認が出来ます。定量精度と検出限界を向上させるため、元素ごとに定量手法 (EDSまたはWDS)を選択できます。
特長と利点
コンパクトデザイン
- ハイアングルポートを備えたすべての走査型電子顕微鏡 (SEM) チャンバーに適合
- 標準EDSポートに取付可能 – 特別なチャンバーやポートは不要
感度
- X線光学系とコンパクトな設計を組み合わせて優れたX線計数率を実現
図2．SiC 中の C は、EDS と比較して WDS の優れたピーク分解能を示しています。高い計数率とピーク対バックグラウンド比
- 最高のエネルギー分解能で迅速な X 線分析が可能
- 遷移元素のK線の優れたピーク分解能を実現
- ほとんどの元素の重複を解決
位置合わせが容易
- 自動化されたルーチンにより、データの操作、パフォーマンス、精度が向上
使いやすい APEX ソフトウェアでEDSとのシームレスな統合
- EDSとWDSの直感的な操作
- X線マイクロアナリシスの向上
- 周期表の全体をカバー
スマートフォーカス
スマートフォーカスはAPEXソフトウェアに組み込まれた機能で、試料の高さを自動で調整して WDS のフォーカスを合わせ、検出器の最適なパフォーマンスを可能にします。
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