利点
- 1台の検出器ですべてのEDSアプリケーションに対応 – 期待以上の精度と幅広いアプリケーションを実現し、複数のEDS検出器を必要としません。
- 元素マッピングのための比類のない感度を提供 – 従来のEDS検出器よりも最大25倍優れたSNR（信号対雑音比）で、微量元素を検出できます。
- 元素マップと相マップを卓越した空間分解能で取得 – 80%以上大きくなったウィンドウレスセンサーにより、最小加速電圧で試料を迅速に分析します。
- 広範囲のSEM条件で組成を正確に決定 – あらゆる加速電圧で動作するエレクトロントラップを活用しました。
- マルチユーザー環境での実用性 – 専用設計により稼働時間を最大化し、重要な研究に集中できます。
Octane Elite Ultraは、従来の大面積薄膜センサーの3倍以上の大きさのEDSセンサーを採用しています。ウィンドウレスデザインと最高の信号処理回路により、Octane Elite Ultraは感度を最大25倍まで向上させました。これにより、元素マップを従来の数分の1の時間で収集、また相マップをリアルタイムで収集、さらに同じSNRで最大25倍の視野でマップを取得することができます。
Octane Elite Ultraは、他のウィンドウレス検出器よりも>80%大きいEDSセンサーを使用しており、最も要求の厳しいアプリケーションでも卓越した結果を保証します。これにより、ユーザーはSEMを加速電圧または照射電流を必要最低限に抑えて操作することができ、ナノ粒子や有機無機複合ペロブスカイトや組織切片などのビームセンシティブな試料、低濃度のボロン鋼、半導体デバイスの極薄誘電体層の分析が可能になり、二次電子または反射電子像に迫る空間分解能でEDS分
析結果が得られます。
図 1. ホウ素鋼試料の二次電子像にホウ素とコバルトの元素マップを重ね合わせた合成像。a) Octane Elite Ultraとb) 別のEDS検出器で収集。Octane Elite Ultraの軽元素に対する優れた感度により、ホウ素の分布をマッピングし、定量的に判定することができます。
ウィンドウレスEDS検出器をSEM上の単独のEDS検出器として使用することができます。Octane Elite Ultraはウィンドウレス検出器による定量分析の制限を解消し、正確な定性・定量分析を加速します。 このシステムは革新的なエレクトロントラップを使用することで、最大 30 keV のエネルギーを持つ後方散乱電子による EDS スペクトルの汚染を防ぎ、最も広い動作範囲にわたって最も正確な結果を提供します。定評のあるEDAX APEX™ EDS Advancedソフトウェア（バージョン3.0以上）を使用することで、Octane Elite Ultraは信頼性の高い分析結果を提供し、必要な唯一のEDS検出器となります。
独自のセンサー設計、効果的なシステムモニタリング、メカニカルシャッターにより、Octane Elite Ultraは電子顕微鏡の状態をアクティブにモニタリングし、検出器の安全性を確保します。例えば、真空状態が動作に適さない場合など、必要な時に難なく安全な状態に移行します。SEMが故障を起こした場合でも、この堅牢なセンサーは、冷却時に48時間大気にさらされても、性能の劣化はほとんど見られません。
正確な定量分析を提供し、最も困難な分析要件を満たし、長期的な耐久性を保証する Octane Elite Ultra は、マルチユーザー環境においても、あらゆる分析ニーズに対応する決定的なソリューションです。
図 2. Octane Elite Ultra検出器を用いた酸化バナジウム (V2O5) のEDSスペクトルと定量評価。SEMは25 kVで作動させ、ビーム電流は20,000 cpsに設定した。スペクトルは、APEX EDS Advancedソフトウェアバージョン3.0を使用して、eZAFとカーボンコート補正、および計算された制動放射バックグラウンドを使用したスタンダードレス定量計算によって分析された。
追加資料
製品速報