利点
- WDSは、EDSよりも最大 15 倍優れたエネルギー分解能で EDS ピークの重複を解決することで、結果の精度が向上します。
- 向上したスペクトル分解能とピーク対バックグラウンド比 (P/B) により、少量元素や微量元素を確実に検出します。
- EDAX Lambda WDS検出器を使用して、より多くの X 線を収集することにより、他のシステムよりも最大 8 倍の速さで結果を提供します。
- 実証済みの分析アルゴリズムを使用して、正確な定量分析結果を提供します。
- 他の手法と関連付けて、利用可能な最も包括的な分析を実行します。
- EDS と WDS のデータを同時収集することで、オペレーターのエラーと分析の落とし穴を回避します。
図 1. 加速電圧5 kVにて測定した合金試料のEDS (赤色アウトライン)とWDS (シアン色)スペクトルの重ね合わせ
Lambda WDS検出器は、EDS 検出器よりも最大 15 倍優れたエネルギー分解能を提供できます。これにより、EDS 分析の欠点であるピークの重複を解決できます。 またWDS は最小検出限界を 10 倍向上させます。Lambda WDS検出器は、改善された P/B 比で微量元素を検出できます。
低加速電圧にて10 倍の深さ分解能で遷移金属 のL 線を分離することで、表面情報に対する感度が向上し、複雑な試料の分析が強化されます。 Neptune は、見えにくい元素のより高いコントラスト マップを使用してすべての SEM の分析能力を拡張し、微量元素や EDS だけでは測定が難しい元素を検出し、ローランド円を有する一般的なWDS検出器よりも最大 8 倍高い P/B比*を提供します。
Neptune を使用すると、“エキスパートのみ”のツールやトレーニングが不要になります。 これにより、電子線プローブマイクロアナライザーのような機能を社内に導入できるようになります。また、結果をすぐに収集できるため、コストのかかる分析の遅延が回避され、高価なツールや高度に専門化されたツールを購入する必要性が軽減されます。
*Lambda Plus を使用したB KαのP/B比に基づきます; Lambda Super は2.5倍の改善を実現
図 2. Si-W-Ta試料の EDS (上図)とWDS (下図)のマッピング像、EDSマップにおけるTa M、Si K、W Mの重複ピークの問題はWDSマップで解決します。
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