イオンエッチングで表面の凹凸をなめらかにした、CdTe薄膜太陽電池のOIM方位マップ
エッチング前の46%指数付け
4時間のエッチング後の87%指数付け
6時間のエッチング後の92%指数付け
沈着させたCd-Te薄膜の粗い表面を滑らかにするためにイオンエッチングを使用。